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ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的。運(yùn)用到了眾多高真高空設(shè)備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評(píng)價(jià)。愛發(fā)科油擴(kuò)散真空泵PFL系列PFL-22維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴(kuò)散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)

采用數(shù)碼5軸控制的磁力軸承的復(fù)合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過數(shù)碼5軸控制磁懸軸承的采用，實(shí)現(xiàn)高功能·高可靠性·節(jié)約能源對(duì)應(yīng)等優(yōu)勢(shì)。愛發(fā)科數(shù)碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修